[实用新型]显微镜有效
| 申请号： | 201220256032.4 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN202630990U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 陆琦 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/16 | 分类号： | G01D11/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。本实用新型通过设置固定锁来限制晶片盒在工作过程中的移动，可以避免损坏晶圆及出现安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 显微镜 | ||
【主权项】：
一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于：所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。
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