[实用新型]显微镜

权利要求书

1.一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于：所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。

2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于：所述固定锁包括汽缸和限位部，所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。

3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：所述限位部和汽缸分别设于所述工作平台的上下两侧，所述工作平台上还开设有导引槽，所述导引槽用以导引所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。

4.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：所述限位部在运动至所述第二位置时，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。

5.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置时位于所述晶片盒的上方。

6.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：所述固定锁至少设有两个。

7.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：所述显微镜还包括开关，所述开关用以控制所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。

8.根据权利要求7所述的显微镜，其特征在于：所述开关为一按钮。