[实用新型]一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构有效
| 申请号： | 201220253572.7 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN202643835U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 郭博;郭亚霓 | 申请（专利权）人： | 江阴沐祥节能装饰工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人： | 达晓玲;施光亚 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路,电机的入风口（1）与真空管路出风口（2）之间设有密封缓冲装置，所述密封缓冲装置包括波纹管（3）和用于将波纹管（3）与电机的入风口（1）和真空管路出风口（2）相连接的若干固定机构。本实用新型的一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，可以减少管路的振动，使其管路与电机之间不宜脱开。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 线上 真空 机构 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路，其特征是，电机的入风口（1）与真空管路出风口（2）之间设有密封缓冲装置，所述密封缓冲装置包括波纹管（3）和用于将波纹管（3）与电机的入风口（1）和真空管路出风口（2）相连接的若干固定机构。
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