[实用新型]一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃制造业中用于抽真空的机构，尤其是一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构。

背景技术

 目前在磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路，真空管路与电机的入风口直接连接，由于在抽真空的时候管路会产生振动，导致电机的入风口与管路的连接处容易脱开。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构。

为了达到上述目的，本实用新型的解决方案是：一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路，所述电机的入风口与真空管路出风口之间设有密封缓冲装置，所述密封缓冲装置包括波纹管和用于将波纹管与电机的入风口和真空管路出风口相连接的若干固定机构。

根据本实用新型的技术方案所述，固定机构包括螺杆，螺杆的两端对称设有收紧装置，所述收紧装置，包括第一螺母、第二螺母连接片和卡口，所述第一螺母和二螺母设置在螺杆上，连接片设置在第一螺母和第二螺母之间，卡口通过一调节螺丝固定在连接片上。调节螺母主要用于调节卡口的大小。

本实用新型的有益效果: 可以减少管路的振动，使其管路与电机之间不宜脱开。

附图说明

本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：

图1是本实用新型的主视图。

图中附图标记为：1为电机入风口，2为真空管路出风口，3为波纹管，5为螺杆，6为第一螺母，7为第二螺母，8为连接片，9为卡口，10为调节螺丝。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书（包括任何附加权利要求、摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

参见图1所示的一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路，电机的入风口1与真空管路出风口2之间设有密封缓冲装置，所述密封缓冲装置包括波纹管3和用于将波纹管3与电机的入风口1和真空管路出风口2相连接的若干固定机构。所述固定机构包括螺杆5，螺杆的两端对称设有收紧装置，所述收紧装置，包括第一螺母6、第二螺母7、连接片8和卡口9，所述第一螺母6和二螺母7设置在螺杆5上，连接片8设置在第一螺母6和第二螺母7之间，卡口9通过一调节螺丝10固定在连接片8上。可以减少管路的振动，使其管路与电机之间不宜脱开。

本实用新型并不局限于前述的具体实施方式。本实用新型扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。