[实用新型]一种溅镀设备镀膜进气均匀性提升装置有效
| 申请号： | 201220240043.3 | 申请日： | 2012-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN202558927U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型目的提供一种溅镀设备镀膜进气均匀性提升装置，为了达成上述实用新型目的一种溅镀设备镀膜进气均匀性提升装置包含：一方形主进气管；一圆形进气管；于方形主进气管面对靶面上设置22个气体喷淋嘴；主进气管上方设置3个吊挂片，用以固定整个进气装置。来改善现有的不均匀送气装置造成溅镀厚度的不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 镀膜 均匀 提升 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀设备镀膜进气均匀性提升装置包含：一方形主进气管；一圆形进气管；于方形主进气管面对靶面上设置22个气体喷淋嘴；主进气管上方设置3个吊挂片。
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