[实用新型]超纯气体充装系统有效
申请号: | 201220217660.1 | 申请日: | 2012-05-13 |
公开(公告)号: | CN202580629U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 金星屹;张根华 | 申请(专利权)人: | 重庆瑞信气体有限公司 |
主分类号: | F17D1/04 | 分类号: | F17D1/04;F17C5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 401336 重*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本实用新型提出了一种超纯气体充装系统。它包括通过管道连接的气体纯化单元、气体压力显示单元和气体充装单元,所述气体充装单元的管路上设有压力控制组件。本实用新型的优点是采用上述结构后,汇流排气瓶组切换对纯化器的温度没有任何影响,增加了系统的稳定性;而且保证了系统的洁净度,增加了系统的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 气体 系统 | ||
【主权项】:
一种超纯气体充装系统,包括通过管道连接的气体纯化单元、气体压力显示单元和气体充装单元,其特征在于:所述气体充装单元的管路上设有压力控制组件。
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