[实用新型]超纯气体充装系统

权利要求书

1.一种超纯气体充装系统，包括通过管道连接的气体纯化单元、气体压力显示单元和气体充装单元，其特征在于：所述气体充装单元的管路上设有压力控制组件。

2.根据权利要求1所述的超纯气体充装系统，其特征在于：所述气体纯化单元包括低温储罐、汽化器、隔膜压缩机、单向阀、高压纯化器，所述低温储罐、汽化器、隔膜压缩机、单向阀、高压纯化器之间通过管道依次连接。

3.根据权利要求1所述的超纯气体充装系统，其特征在于：所述气体充装单元包括通过管道与高压纯化器连接的压力控制组件、进气阀，和然后通过一个四通管道其中一个末端连接的气体充装管路，还包括气体充装管路末端连接的真空表和真空泵，所述四通管道的另外两个末端分别连接放空阀和压力显示单元。

4.根据权利要求1或3所述的超纯气体充装系统，其特征在于：所述压力控制组件为背压阀。

5.根据权利要求3所述的超纯气体充装系统，其特征在于：所述气体充装管路为两组，采用双路并联的方式连接，每一组气体充装管路包括通过管道依次连接的充装阀、汇流排和抽空阀。

6.根据权利要求1所述的超纯气体充装系统，其特征在于：所述压力显示单元包括通过三通管道另外两个末端连接的压力表和压力变送器，还包括与压力变送器双路并联连接的安全阀；所述压力表的连接管路上还连接有压力表阀和压力表排气阀。