[实用新型]一种蓝宝石衬底晶片有效
| 申请号： | 201220212591.5 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202601712U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 石剑舫 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蓝宝石衬底晶片，包括晶片本体，所述的晶片本体具有倒角，所述的倒角范围为45°±5°，倒角尺寸为0.15mm±0.05mm。本实用新型在研磨抛光加工过程不易出现塌边现象，且在研磨抛光过程中，磨料易运动到晶片表面，加工效率不高，加工过程中不易出现崩边，同时保证衬底片在制备芯片时利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 晶片 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底晶片，包括晶片本体，其特征在于：所述的晶片本体具有倒角，所述的倒角范围为45°±5°，倒角尺寸为0.15mm±0.05mm。
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