[实用新型]用于硅片制绒前的预处理装置有效
| 申请号： | 201220178741.5 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN202643919U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 杨华;余义;宋光华;李庄 | 申请（专利权）人： | 上澎太阳能科技(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅片制绒前的预处理装置，其包括化学处理槽和化学品供应罐，所述化学处理槽和所述化学品供应罐通过管道连接，所述化学处理槽包括内槽和外槽，所述化学处理槽底部设置有加热器，所述化学处理槽侧面底部围绕有导管，所述导管与冷却水供应罐连接。通过在常规制绒装置之前增加预处理装置，对于杂质含量高，表面状况复杂的冶金级硅片，获得的绒面效果均匀，清晰。同时，通过在化学处理内槽上连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，通过循环管路使外槽中的溢出液体回到内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 制绒前 预处理 装置 | ||
【主权项】：
用于硅片制绒前的预处理装置，其包括化学处理槽和化学品供应罐，所述化学处理槽和所述化学品供应罐通过管道连接，其特征在于，所述化学处理槽包括内槽和外槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上澎太阳能科技(嘉兴)有限公司，未经上澎太阳能科技(嘉兴)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220178741.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
