[实用新型]一种真空气阀有效
申请号: | 201220127181.0 | 申请日: | 2012-03-30 |
公开(公告)号: | CN202597713U | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 赵铭 | 申请(专利权)人: | 广东友通工业有限公司 |
主分类号: | F16K1/00 | 分类号: | F16K1/00;F16K31/12;F16K27/12;F16K51/02 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 李卫平 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空器械技术领域,尤其是涉及适用于真空镀膜设备的真空气阀,包括有中空阀体,于阀体内组装有一可活动密封阀体之连通相应真空容器的进气口的阀盖,阀盖由一动力缸驱动;所述动力缸为一气缸,其与阀体固连在一起,动力缸的伸缩轴穿入阀体内连接阀盖。本实用新型采用气动方式来打开和闭合阀盖,动作稳定、易操作,且密封良好,结构简单,科学合理,投资成本低,维护检修十分方便,大大提高了气阀的运行率和可操作性,体积小巧,安装、使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 气阀 | ||
【主权项】:
一种真空气阀,包括有中空阀体(1),其特征在于:于阀体(1)内组装有一可活动密封阀体(1)之连通相应真空容器的进气口(11)的阀盖(2),阀盖(2)由一动力缸(3)驱动。
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