[实用新型]一种真空气阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空器械技术领域，尤其是涉及适用于真空镀膜设备的真空气阀。

背景技术

传统的电镀工艺主要是以水镀为主，而水镀会产生废液、废气和废物，如果处理不好，排放出去会造成环境污染，不环保，且治理难度大、投资也大，因而该工艺逐步受到限制。

随后出现有物理气相沉积（PVD）技术，主要是在真空环境下进行表面处理，物理气相沉积本身分为三种：真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜，近十年来发展相当快，已经成为当今最先进的表面处理方式之一。物理气相沉积技术对真空环境要求较高，因而需要更为严谨、稳定的真空器械，如真空气阀，需要具有良好的密封性和操控性，在此背景下，本申请人迎合市场发展的需求，秉持着研究创新、精益求精之精神，利用其专业眼光和专业知识，研究出一种适用于真空镀膜设备的真空气阀。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、科学合理，易制作，且操控稳定的真空气阀。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种真空气阀，包括有中空阀体，于阀体内组装有一可活动密封阀体之连通相应真空容器的进气口的阀盖，阀盖由一动力缸驱动。

所述动力缸为一气缸，其与阀体固连在一起，动力缸的伸缩轴穿入阀体内连接阀盖。

所述阀盖之面向阀体之进气口的一端设有密封垫，而阀盖之与密封垫相背对的一端设有接驳位来连接动力缸的伸缩轴。

所述阀盖上的接驳位为端面凹槽形式，动力缸的伸缩轴外端设计为T形，伸缩轴外端插入阀盖的接驳位后由一半圆压环压制固定，半圆压环组接在阀盖上。

本实用新型采用气动方式来打开和闭合阀盖，动作稳定、易操作，且密封良好，结构简单，科学合理，投资成本低，维护检修十分方便，大大提高了气阀的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便。

附图说明：

附图1为本实用新型的较佳实施例结构示意图。

具体实施方式：

以下结合附图对本实用新型进一步说明：

参阅图1所示，本实用新型所述的一种真空气阀，包括有中空阀体1，于阀体1内组装有一可活动密封阀体1之连通相应真空容器的进气口11的阀盖2，阀盖2由一动力缸3驱动；动力缸3为一气缸形体，其与阀体1固连在一起，动力缸3的伸缩轴31穿入阀体1内连接阀盖2。阀盖2之面向阀体1之进气口11的一端设有密封垫21，而阀盖2之与密封垫21相背对的一端设有接驳位22来连接动力缸3的伸缩轴31。

工作时，动力缸3的伸缩轴31内缩则带动阀盖2运动远离阀体1之进气口11，阀盖2的密封垫21离开进气口11，这时空气可从阀体1之进气口11进入真空容器，容器由此从真空状态达到大气状态。当动力缸3的伸缩轴31外伸则带动阀盖2运动对接阀体1之进气口11，阀盖2的密封垫21密封进气口11，这时空气不能从阀体1之进气口11进入真空容器，达到密封状态，以便容器抽真空。

图1所示，本实施例中，所述阀盖2上的接驳位22为端面凹槽形式，动力缸3的伸缩轴31外端设计为T形，伸缩轴31外端插入阀盖2的接驳位22后由一半圆压环4压制固定，半圆压环4组接在阀盖2上。

本实用新型结构简单，科学合理，投资成本低，维护检修十分方便，大大提高了气阀的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便；利用动力缸3伸缩驱动阀盖2工作，动作稳定、易操作，且密封良好，适用面广，经济性高。