[实用新型]真空室内差动式基片升降机构有效
| 申请号： | 201220111913.7 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN202530151U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 刘洁雅 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空室内差动式基片升降机构，包括波纹管组件，波纹管组件的上部固定在真空室的上法兰上，波纹管组件的下端连接有基片架，波纹管组件的上部与下部之间设有导向柱；波纹管组件的轴心部位设有差动螺杆，差动螺杆的上部与波纹管组件的上部通过螺纹连接，差动螺杆的下部与波纹管组件的下部通过螺纹连接，差动螺杆的上部螺纹与下部螺纹的螺距不同，差动螺杆的上端设有螺杆手钮。当差动螺杆转动时，利用螺纹差动原理，实现在真空环境中，方便、快捷、准确的将基片升降到所需要的位置上，提高了整个设备的安全性与可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 室内 差动 式基片 升降 机构 | ||
【主权项】：
一种真空室内差动式基片升降机构，包括波纹管组件，其特征在于，所述波纹管组件的上部固定在真空室的上法兰上，所述波纹管组件的下端连接有基片架，所述波纹管组件的上部与下部之间设有导向柱；所述波纹管组件的轴心部位设有差动螺杆，所述差动螺杆的上部与所述波纹管组件的上部通过螺纹连接，所述差动螺杆的下部与所述波纹管组件的下部通过螺纹连接，所述差动螺杆的上部螺纹与下部螺纹的螺距不同，所述差动螺杆的上端设有螺杆手钮。
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