[实用新型]共用一个射频源的多等离子体装置有效
| 申请号： | 201220074242.1 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN202488863U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 房永峰;张亮 | 申请（专利权）人： | 苏州汇智真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种共用一个射频源的多等离子体装置，包括射频源，所述射频源通过导线连接有射频源分配器，所述射频源分配器通过导线连接有若干匹配器，每个所述匹配器连接有电极。本实用新型简化了结构，降低了成本；避免了因射频源相互干扰过程中形成锯齿状的波形的缺陷，可以持续地稳定工作；具有能长时间保证等离子体的密度，实现连续化生产；既能保证等离子体的密度，也能保证等离子体的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 共用 一个 射频 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
共用一个射频源的多等离子体装置，其特征在于：包括射频源(1)，所述射频源(1)通过导线连接有射频源分配器(2)，所述射频源分配器(2)通过导线连接有若干匹配器(3)，每个所述匹配器(3)连接有电极(5)。
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