[实用新型]固相法制备高纯五氟化磷气体装置有效
申请号: | 201220050689.5 | 申请日: | 2012-02-17 |
公开(公告)号: | CN202465278U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 刘建文;陈建生 | 申请(专利权)人: | 湖北诺邦化学有限公司 |
主分类号: | C01B25/10 | 分类号: | C01B25/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 431700 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 固相法制备高纯五氟化磷气体装置,包括立式全封闭炉体;用于承载炉体的支架;所述炉体上端设置有炉顶盖、炉体内设置有炉膛、炉体与炉膛共同构成的空间设置为惰性气体室与炉体外设置的送风机相连通,炉体中部设置有螺旋搅拌杆并由设置于炉顶盖上的电机系统驱动、所述炉顶盖上还设置有进料口及惰性气体室进出气孔,废料处理口设置在炉体下端;可满足固相法制备高纯五氟化磷气体的以下要求:(1)全系统全封闭;(2)温度精确控制且可调,误差范围在±1℃;(3)充分搅拌保证物料混合均匀;(4)废料适时排出且不结块。 | ||
搜索关键词: | 法制 高纯 氟化 气体 装置 | ||
【主权项】:
一种固相法制备高纯五氟化磷气体装置,包括立式全封闭炉体;用于承载炉体的支架;其特征在于:所述炉体上端设置有炉顶盖、炉体内设置有炉膛、炉体与炉膛共同构成的空间设置为惰性气体室与炉体外设置的送风机相连通,炉体中部设置有螺旋搅拌杆并由设置于炉顶盖上的电机系统驱动、所述炉顶盖上还设置有进料口及惰性气体室进出气孔,废料处理口设置在炉体下端。
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