[实用新型]针卡及多管芯晶圆测试系统有效
| 申请号: | 201220040439.3 | 申请日: | 2012-02-08 |
| 公开(公告)号: | CN202494755U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
| 发明(设计)人: | 顾汉玉 | 申请(专利权)人: | 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
| 地址: | 518040 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种多管芯晶圆测试系统,包括通过电缆连接的测试机和针卡,测试机包括多个负载板插座,针卡包括多个针卡插座及与多个针卡插座电连接的编码装置,编码装置用于给每个针卡插座提供一个代表单个管芯的编号的编码;测试机包括解码装置,解码装置通过电缆获取编码并解码得到管芯的位置编码,测试机根据位置编码将测试资源对应分配给管芯。本实用新型还涉及一种针卡。上述多管芯晶圆测试系统,由于测试机能够获取每个管芯的位置编码,因此无论电缆连接如何改变,测试机都能正确识别管芯的位置编号,并且将每个管芯的测试结果正确匹配至相应的管芯,达到自动识别及区分管芯的效果,从而实现自动防错位功能。 | ||
| 搜索关键词: | 管芯 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种多管芯晶圆测试系统,包括通过电缆连接的测试机和针卡,所述测试机包括多个负载板插座,所述针卡包括多个针卡插座,其特征在于,所述针卡包括与所述多个针卡插座电连接的编码装置,所述编码装置用于给每个所述针卡插座提供一个代表单个管芯的编号的编码;所述测试机包括解码装置,所述解码装置通过所述电缆获取编码并解码得到所述管芯的位置编码,所述测试机根据所述位置编码将测试资源对应分配给所述管芯。
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