[实用新型]气体通道模块及应用其的气体分配装置有效
| 申请号： | 201220019213.5 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN202543305U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 施玉安;戴陆节 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强;杨东明 |
| 地址： | 201614 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体通道模块，所述气体通道模块总体为一个长方体，其中，所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽；所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔；所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。本实用新型的气体通道模块及应用其的气体分配装置操作方便，气体分配效果好，有效避免了不同井位之中的气体分布不均匀问题。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 通道 模块 应用 分配 装置 | ||
【主权项】：
一种气体通道模块，其特征在于，所述气体通道模块总体为一个长方体，其中，所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽；所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔；所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。
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