[实用新型]气体通道模块及应用其的气体分配装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气体通道模块，特别是一种应用于玻璃真空溅射镀膜设备的气体通道模块及应用其的气体分配装置。 

背景技术

随着经济的发展以及人们生活水平的提高，社会对工业的各个行业提出了更高的要求，其中对于硅酸盐行业而言，玻璃的镀膜标准也随之越来越高。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有良好的保温隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等。 

镀膜玻璃的生产方法很多，主要有离子溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。溅射镀膜玻璃利用溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积 在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。 

对于离子溅射法而言，通常是在高压1500V的作用下，残留的气体分子被电离，形成等离子体，阳离子在电场加速下轰击金属靶，使金属原子溅射到样品的表面，形成导电膜。目前，真空容器内，一种镀膜玻璃通常是由一系列不同膜层材料构成，而且整个镀膜过程是在镀膜设备中一次连续完成的。这样就要求玻璃镀膜设备上要配置不同靶材料，不同靶材料设置在不同的井位中，各个井位之间的溅射气氛不尽相同，或是在纯氩气氛下溅射，或是在氩氧气氛下溅射，或是在氩氮气氛下溅射。出于镀膜质量的考虑，每个井位之间的气体应该浓度均匀。传统的玻璃镀膜设备是将工艺气路分配装置安装在镀膜腔体内部，通常是在阴极挡板的下部，由于气体流场的复杂性和气体本身的压缩性，这种设计容易造成工艺气体藏匿于玻璃两侧的空间，在溅射过程中，由于玻璃边部的气体浓度较大，使得玻璃边部的镀膜效果与中间形成较大差异；同时，由于工艺气路分配装置是固定在腔体内部，既不利于工艺气路装置的检修维护，也降低了设备工艺配置的可互换性和灵活性。 

本领域技术人员致力于提供一种可以有效实现溅射气体均匀分配的设备。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有玻璃镀膜设备中的气体分配不均匀的技术问题，提供一种气体通道模块及应用于其的气体分配装置，以有效实现各个井位之中气体均匀分配。 

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的： 

一种气体通道模块，其特点在于，所述气体通道模块总体为一个长方体， 其中， 

所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽； 

所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔；所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。 

较佳地，所述第一长槽与气体通道模块底部通过主出气孔相通，所述第二长槽被隔离成多个独立的辅气长槽，所述多个辅气长槽依次排列，每个辅气长槽与气体通道模块底部通过辅出气孔相通。 

较佳地，所述气体通道模块的第二端面上还设置第三长槽，所述第三长槽通过一第三内部通道与部分辅进气孔相通，所述第三长槽通过一辅助槽与第二长槽中的部分辅气长槽相通。 

较佳地，所述长方体顶部设置有顶部气槽，部分辅进气孔与顶部气槽连接。 

较佳地，所述装置包括一气体通道模块、顶板、第一侧板、第二侧板、U型盖板，所述的气体通道模块采用前述的气体通道模块，其中，所述顶板密封气体通道模块顶面，所述第一侧板密封第一长槽，所述第二侧板密封第二长槽和/或第三长槽。