[实用新型]一种波分复用器件及其在高速光器件中的应用有效
| 申请号： | 201220011878.1 | 申请日： | 2012-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN202563118U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 胡朝阳;颜学进;王锋 | 申请（专利权）人： | 苏州海光芯创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/42 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种波分复用器件及其在高速光器件中的应用，所述波分复用器件包括硅衬底，所述硅衬底上包覆有二氧化硅层，所述二氧化硅层上包覆有光栅层，所述光栅层上刻蚀有硅光子表面光栅。光器件是通过在表面光栅的上方设置光芯片，光芯片与器件之间设置透镜，通过光耦合连接所述光接收装置与波分复用器件。具有波分复用器件形成的光器件具有尺寸紧凑、成本低、易于批量生产等优点；同时，批量生产时，无需解离光芯片，通过垂直光耦合直接检测产品的质量，直接降低了生产成本。光栅层根据采用不同的晶圆而由不同的组成，结合光接收器的位置，使得光接收装置与复用器件具有较低的耦合损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波分复用 器件 及其 高速 中的 应用 | ||
【主权项】：
一种波分复用器件，其特征在于：所述器件包括硅衬底，所述硅衬底上包覆有二氧化硅层，所述二氧化硅层上包覆有光栅层，所述光栅层上刻蚀有硅光子表面光栅。
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