[发明专利]集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法

摘要

本发明适用于光谱分析仪器领域，公开了集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法。微型光谱仪包括阵列光电探测器、上透光平板和下透光平板；上透光平板上设置有隔光层，隔光层上设置有透射狭缝；下透光平板上设置有变栅距光栅。本发明提供的微型光谱仪基于平面变栅距光栅这一核心器件，该器件既有普通衍射光栅的分光作用，又通过栅线的变化起到像差校正作用。设置了透射微狭缝为系统入光口，克服了反射式微狭缝难以隔绝环境光干扰、系统封装不便、杂散光强的缺点，降低了系统集成的难度，提高了光谱信号检测的精度。制造方法完全被MOEMS工艺兼容，体积微小紧凑，适用于对体积有严格要求的嵌入式光谱检测系统，且检测精度高、检测效果好。

主权项

一种集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪，其特征在于，包括阵列光电探测器、上透光平板和下透光平板，所述上透光平板与所述下透光平板相向平行间距设置，所述阵列光电探测器设置于所述下透光平板的下端；所述上透光平板上设置有用于隔离环境光的隔光层，所述隔光层上设置有用于供光线穿过的透射狭缝；所述下透光平板与所述上透光平板相向的一面上设置有变栅距光栅，所述上透光平板与所述下透光平板相向的一面上设置有用于将光线反射至所述阵列光电探测器上的反射部件。