[发明专利]一种磁控溅射镀膜真空传动机构有效
| 申请号： | 201210589330.X | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103046014A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 梁德刚;李征 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 孟湘明 |
| 地址： | 200000 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及到一种磁控溅射镀膜装置,尤其涉及到一种磁控溅射镀膜装置的真空传动机构。本发明采用的技术方案是包括支座，固定在支座上的电机、由电机带着转动的传动轴，固定在支座上的气缸，设置在真空腔室外侧的真空连接板,固定板,固定在真空连接板和固定板之间的滑竿，其中，支座通过直线轴承套接在滑竿，气缸带动支座做往复运动，并带动支座在滑竿上滑动，本发明避免了传动和往复运动时的互相干涉的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 真空 传动 机构 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜真空传动机构，包括支座（4），固定在支座（4）上的电机（6）、由电机（6）带着转动的传动轴（12），固定在支座上的气缸（7），设置在真空腔室外侧的真空连接板（1）,固定板（2）,固定在真空连接板（1）和固定板（2）之间的滑竿，其特征在于，支座（4）通过直线轴承（19）套接在滑竿（3），气缸（7）带动支座（4）做往复运动，并带动支座（4）在滑竿（3）上滑动。
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