[发明专利]一种磁控溅射镀膜真空传动机构

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜真空传动机构，包括支座（4），固定在支座（4）上的电机（6）、由电机（6）带着转动的传动轴（12），固定在支座上的气缸（7），设置在真空腔室外侧的真空连接板（1）,固定板（2）,固定在真空连接板（1）和固定板（2）之间的滑竿，其特征在于，支座（4）通过直线轴承（19）套接在滑竿（3），气缸（7）带动支座（4）做往复运动，并带动支座（4）在滑竿（3）上滑动。

2.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）的一端穿过真空连接板（1）设置在真空腔室内,另一端套接在外轴套(11)上,所述外轴套(11)设置在真空连接板(1)和支座(4)之间。

3.根据权利要求2所述的真空传动机构，其特征在于，外轴套（11）上套有金属波纹管（8），所述波纹管（8）设置在支座（4）和真空连接板（1）之间。

4.根据权利要求3所述的真空传动机构，其特征在于，所述金属波纹管（8）与外轴套（11）的连接处设置有O型密封圈（13）。

5.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述直线轴承（19）与支座（4）和滑竿（3）的连接处设置有轴用弹性挡圈（21）。

6.根据权利要求1或2所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）和外轴套（11）连接处从内往外依次设置有骨架油封（15）、隔环（16）、骨架油封（15）、轴承（10）、孔用弹性挡圈(20)、隔环（16）、骨架油封（15）,并使用封盖（17）固定，完成传动轴在转动时的密封。

7.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）通过联轴器（9）和平键（18）与电机（6）连接。

8.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，，电机（6）通过电机安装座（5）设置在支座（4）上。

9.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述传动轴（12）的末端设置有摩擦片或传动爪。

10.根据权利要求1所述的真空传动机构，其特征在于，所述真空连接板通过螺栓和O型密封圈（13）固定在真空腔室上。