[发明专利]硅片推顶机构有效
| 申请号： | 201210587477.5 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103901735A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 夏海;王鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片推顶机构，包括：基座、驱动机构、导向机构、连接板以及推顶销，所述驱动机构固定于所述基座上，所述推顶销和导向机构固定在所述连接板上，并且，所述硅推顶机构还包括柔性吸盘，所述柔性吸盘设置于所述推顶销的顶部并与所述推顶销相连，所述柔性吸盘的内侧连接高度低于所述推顶销的顶面高度。本发明在推顶销的顶部增设了柔性吸盘，柔性吸盘相对于现有技术中采用的非金属材料刚性较为柔软，能够紧密贴合翘曲片和超薄片，使真空不泄露，保证了硅片的有效吸附。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片推顶机构，包括：基座、驱动机构、导向机构、连接板以及推顶销，所述驱动机构固定于所述基座上，所述推顶销和导向机构固定在所述连接板上，其特征在于，还包括柔性吸盘，所述柔性吸盘设置于所述推顶销的顶部并与所述推顶销相连，所述柔性吸盘的内侧连接高度低于所述推顶销的顶面高度。
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