[发明专利]一种工件台线缆装置

摘要

本发明涉及一种工件台线缆装置，包括工件台、硅片台、线缆设备、线缆连接台以及X向运动设备和Y向运动设备，所述硅片台与线缆连接台分别安装于所述工件台的上侧和下侧，所述线缆设备的两端分别连接至所述硅片台和线缆连接台，所述X向运动设备连接至所述线缆连接台并沿X向运动，所述Y向运动设备连接至所述线缆连接台并沿Y向运动。本发明利用沿X向运动的X向运动设备和沿Y向运动的Y向运动设备带动所述线缆连接台跟随所述硅片台在X、Y向同步运动，使得线缆设备跟随所述硅片台运动，以减少线缆设备对所述硅片台运动产生的扰动，并减少线缆设备在硅片台运动中的弯折次数，增加线缆设备的使用寿命，同时，本发明结构简单。

主权项

1.一种工件台线缆装置，其特征在于，包括工件台、硅片台、线缆设备、线缆连接台以及X向运动设备和Y向运动设备，所述硅片台与线缆连接台分别安装于所述工件台的上侧和下侧，所述线缆设备的两端分别连接至所述硅片台和线缆连接台，所述X向运动设备连接至所述线缆连接台并沿X向运动，所述Y向运动设备连接至所述线缆连接台并沿Y向运动；所述线缆设备与所述线缆连接台刚性连接，所述线缆连接台和线缆设备一起实现在X向和Y向的主动跟随，并能保证所述线缆设备与硅片台的运动轨迹、速度、加速度上的一致性，使硅片台、线缆设备、线缆连接台三者在运动时保持相对静止；所述Y向运动设备包括固定于所述工件台底部边缘的滑台以及能够沿所述滑台滑动的滑块，所述X向运动设备包括伸缩件、控制电机以及导向装置，所述导向装置沿X向设置，所述伸缩件以及导向装置的一端分别安装于所述滑块上，另一端分别安装于所述线缆连接台上，所述控制电机控制所述伸缩件的伸缩；或者所述X向运动设备和Y向运动设备均由磁钢阵列或线圈阵列提供。