[发明专利]一种工件台线缆装置

权利要求书

1.一种工件台线缆装置，其特征在于，包括工件台、硅片台、线缆设备、线缆连接台以及X向运动设备和Y向运动设备，所述硅片台与线缆连接台分别安装于所述工件台的上侧和下侧，所述线缆设备的两端分别连接至所述硅片台和线缆连接台，所述X向运动设备连接至所述线缆连接台并沿X向运动，所述Y向运动设备连接至所述线缆连接台并沿Y向运动；所述线缆设备与所述线缆连接台刚性连接，所述线缆连接台和线缆设备一起实现在X向和Y向的主动跟随，并能保证所述线缆设备与硅片台的运动轨迹、速度、加速度上的一致性，使硅片台、线缆设备、线缆连接台三者在运动时保持相对静止；

所述Y向运动设备包括固定于所述工件台底部边缘的滑台以及能够沿所述滑台滑动的滑块，所述X向运动设备包括伸缩件、控制电机以及导向装置，所述导向装置沿X向设置，所述伸缩件以及导向装置的一端分别安装于所述滑块上，另一端分别安装于所述线缆连接台上，所述控制电机控制所述伸缩件的伸缩；或者所述X向运动设备和Y向运动设备均由磁钢阵列或线圈阵列提供。

2.如权利要求1所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述线缆设备与所述硅片台之间安装有差分传感器。

3.如权利要求2所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述导向装置为导向杆，所述导向杆的一端固定连接于所述线缆连接台，所述导向杆的另一端穿设于所述滑块内，并能够沿X方向滑动。

4.如权利要求3所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述导向杆为直线导向装置，所述导向杆与所述滑块之间设有机械轴承或气浮轴承或磁浮轴承。

5.如权利要求2所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述伸缩件为机械臂，所述机械臂包括两连杆以及连接所述两连杆的旋转接点，所述两连杆的两端分别与所述滑块和线缆连接台铰接。

6.如权利要求5所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述控制电机为旋转电机，所述旋转电机控制所述两连杆的其中一端的旋转。

7.如权利要求6所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述旋转电机上还设有旋转编码器。

8.如权利要求2所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述伸缩件为直线滑轨，所述直线滑轨包括X向的轨道以及沿所述轨道滑动的固定块，所述轨道的一端固定连接至所述滑块，所述线缆连接台固定于所述固定块上。

9.如权利要求8所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述控制电机为直线电机，所述直线电机控制所述固定块沿所述轨道做直线运动。

10.如权利要求9所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述直线电机上还设有直线编码尺。

11.如权利要求1所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述工件台底部设有第一磁钢阵列，所述线缆连接台上设有与所述第一磁钢阵列相对应的第二磁钢阵列。

12.如权利要求1所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述工件台底部设有第一线圈阵列，所述线缆连接台上设有与所述第一线圈阵列相对应的第二线圈阵列。

13.如权利要求11或12所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述硅片台内部设有霍尔传感器阵列，所述线缆设备与所述硅片台之间设有跟随传感器。

14.如权利要求1所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述线缆设备包括线缆以及套设于所述线缆外侧的线缆套，所述线缆套中设有隔层。

15.如权利要求14所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述线缆采用柔性线缆。

16.如权利要求14所述的工件台线缆装置，其特征在于，所述线缆套采用碳纤维、陶瓷或碳化硅中的一种材料制成。