[发明专利]一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统无效
| 申请号： | 201210585457.4 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103078240A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 方晓东;邵景珍;梁勖;游利兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/041 | 分类号： | H01S3/041 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，在准分子激光系统内加入了由循环水泵、冷凝器、温度传感器、温度自调节电路、控制软件和含有激光工作状态及参数的数据库等组成的温度自调节系统。在激光器工作时系统会根据激光工作参数和状态利用该温度自调节系统控制激光器工作温度，从而将激光器腔体内温度控制在最佳能量范围内，以获取最佳的输出能量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高重频 工业 准分子激光 工作温度 调节 系统 | ||
【主权项】：
一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，其特征在于：包括激光放电腔，所述激光放电腔内设置有一对放电电极、冷却水管、温度传感器，两放电电极之间接有电容，且电容通过导线与外部充电电源连接，所述冷却水管通过管路与一个循环水泵、一个冷凝器连接构成循环冷却水路，还包括有温度自调节电路，所述温度传感器、循环水泵及冷凝器分别接入温度自调节电路。
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