[发明专利]一种传感器无效
| 申请号： | 201210585114.8 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103033295A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李维平;刘清惓;黄标;周晓;佘德群 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210049 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器，传感器结构包括：数模转换器、压电执行器、膜片、衬底。压力测量的步骤如下：数模转换器为压电执行器施加阶梯式增加的电压；压电执行器驱动压力传感器的膜片弯曲；数模转换器为压电执行器施加阶梯式减小的电压；测量膜片上的压力。本发明可以避免膜片位置的不确定性问题，减小机械迟滞误差，改善压力传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 | ||
【主权项】：
一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。
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