[发明专利]磁传感装置及其磁感应方法

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及其磁感应方法，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括基底、至少一对相配合的磁传感模块，基底表面开有沟槽。磁传感模块包括导磁单元、感应单元；导磁单元用以收集第三方向的磁信号，并将该磁信号输出；感应单元设置于基底表面上，用以接收所述导磁单元输出的第三方向的磁信号，并根据该磁信号测量出第三方向对应的磁场强度。每对相配合的两个磁传感模块设置完成后，能够直接抵消每对磁传感模块在第一方向、第二方向上的磁场信号输出。本发明提出的磁传感装置可将X轴、Y轴、Z轴的感应器件设置在同一个圆晶或芯片上，且能够独立测量出X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上的磁场信号。

主权项

1.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括垂直方向磁传感部件，该垂直方向磁传感部件包括基底、成对配合的磁传感模块，基底表面开有沟槽；所述磁传感模块包括：‑导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以收集垂直方向的磁信号，并将该磁信号输出；‑感应单元，所述感应单元是感应与基底表面平行方向的磁传感器，设置于所述基底表面上，用以接收所述导磁单元输出的垂直方向的磁信号，并根据该磁信号测量出垂直方向对应的磁场强度；所述感应单元包括磁材料层，该磁材料层的磁材料的电阻随磁场强度及方向的变化而变化；所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直；每对相配合的两个磁传感模块设置完成后，能够直接抵消每对磁传感模块在第一方向或/和第二方向上的磁场信号输出；所述垂直方向磁传感部件包括第一磁传感模块、第二磁传感模块、第三磁传感模块、第四磁传感模块；各磁传感模块平行设置，即各磁传感模块中感应单元的磁材料层的初始磁化方向相同或相反，且各磁传感模块沟槽的走向平行或重合；所述第一磁传感模块的第一端、第二磁传感模块的第一端接地，第一磁传感模块的第二端连接第四磁传感模块的第一端，第二磁传感模块的第二端连接第三磁传感模块的第一端，第三磁传感模块的第二端、第四磁传感模块的第二端连接电源；第一磁传感模块的第二端、第二磁传感模块的第二端之间是电信号输出；所述第一磁传感模块中，感应单元的各个部分配合的沟槽设置在感应单元该配合部分的第一侧；感应单元的磁材料层初始磁化方向为第A方向；电流方向为第B方向；所述第二磁传感模块中，感应单元的各个部分配合的沟槽设置在感应单元该配合部分的第二侧；感应单元的磁材料层初始磁化方向为与第A方向相反的方向；电流方向为与第B方向垂直的方向；所述第三磁传感模块中，感应单元的各个部分配合的沟槽设置在感应单元该配合部分的第一侧；感应单元的磁材料层初始磁化方向为与第A方向相同的方向；电流方向为与第B方向平行的方向；所述第四磁传感模块中，感应单元的各个部分配合的沟槽设置在感应单元该配合部分的第二侧；感应单元的磁材料层初始磁化方向为与第A方向相反的方向；电流方向为与第B方向垂直的方向。