[发明专利]一种利用倒置荧光显微镜制造微纳流控芯片的方法

摘要

本发明提供了一种利用倒置荧光显微镜制造微纳流控芯片的方法。利用湿法腐蚀、超声打孔、热键合等技术制造玻璃材质微流控芯片，通过毛细作用将光敏聚合物溶液由储液池填充到微通道网络，调整倒置荧光显微镜的微动平台定位聚合物凝胶纳米塞区域，利用倒置荧光显微镜的扩束调节环和码盘式分光机构，将波长为340-380nm的光聚焦到微通道内聚合物凝胶纳米塞区域，实现可控的光敏聚合反应形成聚合物凝胶纳米塞，获得具有微纳复合结构的微纳流控芯片，此类芯片可用于溶液中痕量物质富集。本方法操作灵活、可控性好，不需要纳米模具、纳米掩膜、高精度光刻机等昂贵耗材与设备，就能在微通道网络的预设区域制造出具有纳米孔隙的聚合物凝胶纳米塞。

主权项

一种利用倒置荧光显微镜制造微纳流控芯片的方法，其特征包括以下步骤，（1）制作玻璃材质的微流控芯片；（2）采用亲和硅烷处理微流控芯片的微通道表面，将配置好的光敏聚合物溶液由储液池填充到微通道网络；（3）通过调节倒置荧光显微镜的微动平台位置，并结合目镜观测，确定聚合物凝胶纳米塞预设区域；（4）根据聚合物光敏特性选择码盘式分光机构内置的曝光滤光片，光束的波长在340‑380nm，光束的带宽不大于10nm，保证激发光敏聚合反应曝光光束的单色性；（5）通过调节倒置荧光显微镜的扩束调节器控制倒置荧光显微镜聚焦光斑大小，进而控制聚合物凝胶纳米塞的尺寸，利用倒置荧光显微镜的共焦光路使光斑直径小于50μm；（6）通过安装在扩束调节器插板上的滤光片控制倒置荧光显微镜聚焦光斑强度，通过倒置荧光显微镜曝光时间确定光敏聚合反应时间，获得具有微纳复合结构的微纳流控芯片。