[发明专利]一种自润滑梯度复合超硬膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201210551535.9 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103009697A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 邰召勤;张世宏;李金龙 | 申请（专利权）人： | 安徽天一重工股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 胡敏 |
| 地址： | 243000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自润滑梯度复合超硬膜及其制备方法，所述超硬膜包括依次设置的CrN打底层、TiN过渡层和Ti（C，N）工作层。所述制备方法包括准备真空镀膜设备；工件预处理；工件加热与离子刻蚀；CrN打底层的制备；TiN过渡层的制备；Ti（C，N）工作层的制备。本发明所制备的超硬薄膜，在Ti(C,N)工作层中包含晶体相TiN、TiC、Ti(C,N)以及非晶相C，使薄膜具有优异的韧性，同时兼具超高硬度，硬度值可高达62GPa，同时薄膜中非晶相C的出现使得该薄膜的摩擦系数可以保持在0.4～0.5，具有优良的综合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 润滑 梯度 复合 超硬膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种自润滑梯度复合超硬膜，其特征在于，所述超硬膜包括依次设置的CrN打底层、TiN过渡层和Ti（C，N）工作层，所述Ti（C，N）工作层包括晶体相TiN、TiC、Ti（C，N）以及非晶相C；Ti（C，N）工作层中，非晶相C的含量由超硬膜表面到TiN过渡层和Ti（C，N）工作层的界面处逐渐降低，晶体相TiC的含量由超硬膜表面到TiN过渡层和Ti（C，N）工作层的界面处逐渐增加。
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