[发明专利]一种扫描电镜测长用长度标准样品的制备方法

摘要

本发明提供了一种扫描电镜测长用长度标准样品的制备方法。所述方法包括：将硅片清洗、并在硅片上涂覆电子束抗蚀剂、烘烤；对烘烤后的样品进行电子束曝光、显影、定影、干燥得到抗蚀剂图形；将具有抗蚀剂图形的样品镀膜；将镀膜后样品利用丙酮进行剥离，最终得到扫描电镜测长用长度标准样品。本发明制备的长度标准样品为硅衬底上的金属栅格，由于两种材料之间的差异，从而大大提高了标准样品在扫描电镜中的成像对比度，提高了样品的测量精度。

主权项

一种扫描电镜测长用长度标准样品的制备方法，其特征在于包括：步骤S1：对要制备图形的硅衬底样品进行清洗，然后对清洗干净的硅衬底样品进行烘烤处理以去除基片表面的水分；烘烤选择在120℃‑150℃的热板上烘烤10分钟‑30分钟；步骤S2：将步骤S1清洗好的硅衬底样品放入涂胶机里，采用旋涂的方式对清洗好的硅衬底样品进行电子束抗蚀剂的涂覆，根据厚度的需要选择不同的旋涂速度，电子束抗蚀剂的厚度大于将来沉积金属厚度的两倍，旋涂结束后，利用热板或烘箱对涂覆电子束抗蚀剂的硅衬底样品进行烘烤，得到涂覆电子束抗蚀剂的样品，烘烤的温度由电子束抗蚀剂的类型决定；步骤S3：利用电子束曝光设备对步骤S2的涂覆电子束抗蚀剂的硅衬底样品进行曝光，然后进行显影、定影，最后用干燥氮气将样品吹干得到具有电子束抗蚀剂图形的样品；步骤S4：将步骤S3得到具有电子束抗蚀剂图形的样品放到金属镀膜设备中进行镀膜，得到具有金属膜的样品；步骤S5：将步骤S4具有金属膜的样品用丙酮浸泡进行剥离，去除未曝光区域的抗蚀剂及其上面的金属，从而得到的扫描电镜测长用长度标准样品。