[发明专利]清洗机摆动喷淋装置及方法无效
| 申请号： | 201210546229.6 | 申请日： | 2012-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103028566A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 史彦慧;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体工业领域，尤其涉及一种用于晶片清洗的清洗机摆动喷淋装置及方法。本发明提供的清洗机摆动喷淋装置包括喷淋臂、喷头和驱动装置，所述喷头与所述喷淋臂铰接形成第一铰接处，所述喷头在驱动装置控制下摆动。所述驱动装置为气缸，所述气缸的活塞杆与所述喷头铰接形成第二铰接处。采用本发明的清洗机摆动喷淋装置使晶片中心位置和边缘位置都有很好的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 摆动 喷淋 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种清洗机摆动喷淋装置，其特征在于，所述清洗机摆动喷淋装置包括喷淋臂（1）、喷头（2）和驱动装置，所述喷头（2）与所述喷淋臂（1）连接，所述喷头（2）在驱动装置控制下摆动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210546229.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
