[发明专利]一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置

摘要

本发明公开了一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置，包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道。激光与所述喷嘴同轴，并通过透镜聚焦进入喷嘴中，用于加热进入喷嘴的靶材固体颗粒；颗粒进料装置通过管道与喷嘴连接，用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至喷嘴中。当靶材固体颗粒进入到喷嘴，激光对靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体，液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。本发明产生的液滴靶均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠；另外靶材在喷射时周围包裹一层稀薄气体，这层稀薄气体的存在能抑制激光与液滴靶材作用后形成的中性或带点的粒子碎片四处飞溅。

主权项

一种用于极紫外光源的高熔点材料液滴靶产生装置，其特征在于，包括激光、透镜、颗粒进料装置、喷嘴和管道，所述激光与所述喷嘴同轴，并通过所述透镜聚焦进入所述喷嘴，用于加热进入所述喷嘴的靶材固体颗粒；所述颗粒进料装置通过所述管道与所述喷嘴连接，用于将靶材固体颗粒连续匀速投送至所述喷嘴；当所述靶材固体颗粒进入所述喷嘴后，所述激光对所述靶材固体颗粒进行加热并使其熔化成液体，所述液体通过喷嘴喷出并形成均匀液滴靶。