[发明专利]一种上称重提拉法籽晶杆夹持及对中装置无效
申请号: | 201210538756.2 | 申请日: | 2012-12-14 |
公开(公告)号: | CN103014841A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 曾宪林;吴少凡;郑熠 | 申请(专利权)人: | 福建福晶科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B15/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350003 福建省福州市鼓楼区*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及提拉法单晶炉机械结构领域,应用于上称重提拉法籽晶杆的夹持及对中,包括上下法兰,ER夹头,ER螺母,弹簧及螺栓,通过ER夹头夹持籽晶杆和转动电机小轴,旋转ER螺母将其固定在对中法兰盘上,旋转三个套有弹簧的螺栓来精确调整籽晶杆的中心度。本发明具有夹持力强,精度高,结构简单,装配调节方便等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 重提 籽晶 夹持 装置 | ||
【主权项】:
一种上称重提拉法籽晶杆夹持及对中装置,包含上法兰1,下法兰2,ER螺母,3,弹簧4,螺栓5,ER夹头6,其特征在于上法兰1的盘面有三等分螺丝孔,下法兰2盘面有与上法兰1盘面上三等分螺丝孔相对应的三等分圆孔,将套有弹簧4的螺栓5穿过螺丝孔与圆孔将上法兰1与下法兰2连接在一起。
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