[发明专利]光罩及其设计方法

摘要

本发明公开了一种光罩及其设计方法，所述光罩包括形成光罩图案的透光部分和不透光部分，所述透光部分设有相邻于所述不透光部分边缘的衍射光栅结构区域，且所述衍射光栅结构区域的光栅条纹平行于与之相邻的不透光部分的边缘。本发明的光罩，由于在所述光罩中透光部分中，设计了相邻于所述不透光部分边缘的衍射光栅结构区域，进而使得该区域对polyimide薄膜曝光的能量值发生了变化，从而改变了曝光之后的polyimide薄膜的形貌，并最终在加热固化处理之后，能够获得没有翘起的polyimide薄膜，解决了随后的IC电路的封装过程中，翘起对填充焊球的不利影响。

主权项

一种光罩，包括形成光罩图案的透光部分和不透光部分，其特征在于：所述透光部分设有相邻于所述不透光部分边缘的衍射光栅结构区域，且所述衍射光栅结构区域的光栅条纹平行于与之相邻的不透光部分的边缘；其中，所述衍射光栅结构区域的光栅常数为：d=C·3X+140]]>其中，X为所述衍射光栅结构区域中到所述不透光部分边缘的垂直距离，C为利用所述光罩曝光时与入射光波长相关的常数，d为光栅常数。