[发明专利]薄膜蒸镀设备和制造OLED显示装置的方法在审
| 申请号： | 201210529162.5 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103866235A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 叶添昇 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜蒸镀设备和利用该设备制造OLED显示装置的方法。该设备包括：腔体，腔体内设置有：蒸发源容置部件，用于容置蒸发源；压板及带动压板上下移动的移动机构；衬底承接夹具，用于承接衬底；框架，用于承载掩模板；设置于压板下表面上的静电薄膜层。静电薄膜层可以利用静电吸附的方式将所述衬底平整地吸附在压板上，脱离衬底承接夹具的支撑，然后将衬底与掩模板贴合在一起进行薄膜蒸镀。本发明可以提高衬底的有效使用面积，而且框架的外形结构不受衬底承接夹具外形结构的限制，因此可以采用强度高的外形结构，避免框架易变型问题的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 设备 制造 oled 显示装置 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜蒸镀设备，用于在衬底上蒸镀薄膜，包括： 腔体；所述腔体内设置有：蒸发源容置部件，用于容置蒸发源；压板及带动所述压板上下移动的移动机构；衬底承接夹具，用于承接所述衬底；框架，用于承载掩模板；其特征在于：所述压板面向所述蒸发源容置部件的表面上设置有静电薄膜层，用于利用静电吸附的方式将所述衬底平整地吸附在所述压板上。
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