[发明专利]一种移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法和系统

摘要

本发明涉及移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法和系统，包括发射光路系统、接收光路系统、分光棱镜反射光路系统、以及分光棱镜透射光路系统，通过移动载物平移台，依次改变探测主点位置，针对每个探测主点位置，用压电陶瓷平移台产生相移，获取一组定步长相移干涉图，直到达到要求的探测深度，对于获得的多组定步长相移干涉图，分别进行相移去镜像和直流项处理，得到m幅与探测主点位置对应的无镜像和直流项样品层析图；分别截取每幅样品层析图中心位置横向前后各N/2个像素，得到m幅截取图像，将按探测方向排列的m幅截取图像合成为一张层析图。

主权项

1.一种移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法，其特征在于包括以下步骤：1)改变探测主点位置，分别获取每一个探测主点位置对应的一组定步长相移干涉图，直到达到要求的探测深度；2)对于获得的m组定步长相移干涉图，分别进行相移去镜像和直流项处理，得到m幅与探测主点位置对应的无镜像和直流项样品层析图；3)分别截取每幅无镜像和直流项样品层析图中心位置横向前后各N/2个像素，样品层析图横向像素数N为截取参数，得到m幅截取图像，其中式中，N为截取参数，d为有效探测范围，A为相移干涉图上干涉条纹所包含的横向像素值，步骤1中所述的相移干涉图上干涉条纹所包含的横向像素值均相等，B为无镜像和直流项样品层析图图像的横向像素值，λ₀是光源的中心波长，λ_min是最小波长，λ_max是最大波长，n₁是样品折射率；4）将m幅截取图像按探测方向排列，相邻两幅截取图像中心位置的像素间距为合成参数M，再将相距距离为合成参数M、按探测方向排列的m幅截取图像合成为一张层析图，其中，式中，M为合成参数，Δd为移位间隔距离，A为相移干涉图上 干涉条纹所包含的横向像素值，步骤1中所述的相移干涉图上干涉条纹所包含的横向像素值均相等，B为无镜像和直流项样品层析图图像的横向像素值，λ₀是光源的中心波长，λ_min是最小波长，λ_max是最大波长，n₂是空气折射率。