[发明专利]一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法

摘要

本发明涉及一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法，包括以下步骤：对薄膜进行透过率和反射率光谱测量，得到光谱测量数据；对薄膜进行变角度的椭圆偏振测量，得到椭偏参数；将光谱数据和椭偏参数拟合，配合相应的色散关系，使用非均匀模型求解薄膜的光学常数。本发明的非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法，通过在分别使用光度法和椭偏法求解的基础上，灵活采用了两种方法各自的优点，充分发挥椭偏法测量膜层光学参数的高灵敏度和光度法测量数据的直观性，两者相互结合进而获得高精度的光学常数解析数据，从而改善了光度法对薄膜厚度的依赖性和降低了椭偏法对模型计算的困难程度。

主权项

一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤a，对薄膜进行透过率和反射率光谱测量，得到光谱测量数据；步骤b，对薄膜进行变角度的椭圆偏振测量，得到椭偏参数；步骤c，根据步骤a和b的测量结果，将光谱测量数据和椭偏参数拟合，配合相应的色散关系，使用非均匀模型求解薄膜的光学常数。