[发明专利]一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统无效
申请号: | 201210516481.2 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN102978684A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 滑喜宝 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215212 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统,包括主隔热屏和附属隔热屏,通过复合式结构,可以大大降低晶体生长炉的维护周期,减少热场损耗,降低热场的耗材成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 蓝宝石 晶体生长 隔热 系统 | ||
【主权项】:
一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统,其特征在于,包括主隔热屏和附属隔热屏,所述主隔热屏和附属隔热屏为两个独立的部分,可独立悬挂于上炉盖上,所述主隔热屏和附属隔热屏均使用钨钼材料通过钼杆连接成一个整体。
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