[发明专利]版图验证规则中金属层的测试向量针对不同工艺的可复用生成方法

摘要

版图验证规则文件是用来验证版图设计是否符合工艺加工约束条件的重要文件，需要构造很多测试向量，验证该规则文件的正确性。版图验证规则文件中，针对不同工艺，不同层金属的规则通常类型比较类似，但具体规则尺寸不尽相同，往往需要通过重复编写不同金属层的控制语句来生成测试向量。本发明提出了一种Under Top Metal虚拟层的生成方法，通过对金属次顶层进行几何规则检查，简化了金属层测试向量的生成过程。针对1P5M，1P4M，1P3M工艺仅需书写一套测试向量生成规则文件，该方法会自动生成测试向量。针对次顶层金属与TopVia的Enclosure包含命令，自动替换次顶层金属层名，保证不同工艺的约束正确。

主权项

版图验证规则中金属层的测试向量针对不同工艺的可复用生成方法，它的含义是在版图验证规则中金属层的测试向量生成过程中，针对不同工艺，不同层金属的规则类型相同，但具体规则尺寸不尽相同，需要通过重复编写不同金属层的控制语句来生成测试向量；假设共有n层金属，第1层金属遵循底层金属的规则尺寸，第2～n‑1层金属共同遵循中间金属层的规则尺寸，第n层金属遵循顶层金属的规则尺寸；该方法提出了一种金属次顶层的定义，通过对金属次顶层进行几何规则检查，简化了金属层的测试向量的生成过程；针对1p5m，1p6m，1p7m，1p8m的工艺仅需要书写一套scout rule，该方法会自动生成对应不同工艺的测试向量；针对TopMetal与次顶层的Enclosure命令，该方法会自动替换次顶层金属的layer name，保证不同工艺的约束正确；针对TopMetal有多个layer的情形，该方法会自动寻找第一个TopMetal层与次顶层金属的关系；针对与器件相关的device rule，该方法可自动将器件中的次顶层金属进行替换，不需要人工修改器件的版图；该方法实现了版图验证规则中金属层的测试向量针对不同工艺的可复用生成，解决了描述金属层图形规则重复操作的问题，从而提高了测试向量生成的效率；具体步骤如下：(1)针对金属层规则，定义虚拟层Under Top Metal，该虚拟层的含义是次顶层金属名称，可以用来定义第2～n‑1层金属的各项规则；(2)在全局连接关系的定义中，设置虚拟层Under Top Metal名称，使得后续规则可以直接引用该layer；(3)针对中间金属层的各项检查规则，使用虚拟层Under Top Metal完成各项相关规则的类型设置与检查尺寸设置，不同类型的检查只需设置一次，而不需要多次重复设置；(4)根据虚拟层Under Top Metal的各种检查规则的设置，工具直接自动生成第2～n‑1层金属的测试向量图形。