[发明专利]一种晶圆检测系统

摘要

本发明公开一种晶圆检测系统，其包括探针台、探针卡、测试机、摄像机、光源及控制器。所述探针台通过承片台固定待测晶圆，并对该待测晶圆执行对准、定位操作，使探针卡上的探针对准所述待测晶圆。所述测试机通过电缆线连接探针卡。所述摄像机和光源均设置在探针台内部，并固定安装在所述待测晶圆上方。所述控制器通过电缆连接摄像机和光源。本发明能够对熔丝是否烧断进行检测，提高了晶圆检测的准确率，降低封装成本。

主权项

一种晶圆检测系统，其特征在于，包括：探针台、探针卡、测试机、摄像机、光源及控制器；其中，所述探针台通过承片台固定待测晶圆，并对该待测晶圆执行对准、定位操作，使探针卡上的探针对准所述待测晶圆；所述测试机通过电缆线连接探针卡，用于根据晶圆的电阻值和频率的需要，向待测晶圆输出熔丝的烧断电压和烧断电流，并对待测晶圆反馈的数据进行处理；所述摄像机和光源均设置在探针台内部，并固定安装在所述待测晶圆上方，用于在测试机对待测晶圆输出熔丝的烧断电压和烧断电流后，获取所述待测晶圆的熔丝图像信息，并输出给控制器；所述控制器通过电缆连接摄像机和光源，用于将收到的所述熔丝图像信息与该熔丝烧断状态的样本图像进行比对，判断熔丝是否烧断，完成对熔丝的烧断检测。