[发明专利]一种CrAlN/ZrO2纳米涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210510010.0 | 申请日： | 2012-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103305789A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李伟;刘平;赵永生;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CrAlN/ZrO2纳米多层涂层及其制备方法。所述涂层由多个CrAlN层和ZrO2层构成，各CrAlN层和ZrO2层交替沉积在基体上，其总厚度约为2.0～4.0μm。其制备方法首先将基体表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，再采用反应溅射法在基体上交替溅射CrAlN层和ZrO2层。本发明的CrAlN/ZrO2纳米多层涂层可同时具有高硬度和高抗氧化性能，其最大硬度可达47.2GPa，由于ZrO2层的插入阻碍了Cr、Al原子向外部的扩散以及O原子向内部的扩散，因此提升了涂层的抗氧化性能，即使在空气中加热到1000℃保温30min，其硬度仍可保持36.8GPa。因此，该涂层可作为高速切削刀具及其它高温条件下服役耐磨工件的保护涂层，其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 craln zro sub 纳米 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种CrAlN/ZrO2纳米涂层，其特征在于：所述纳米涂层由至少一层CrAlN单层和ZrO2单层组成，各CrAlN层和ZrO2层交替沉积在基体上,基体为金属、硬质合金、陶瓷或塑料。
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