[发明专利]一种制备像素化的闪烁材料膜的方法有效
| 申请号： | 201210510007.9 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103849832A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘光辉;刘茜;周真真;魏钦华;杨华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 江磊 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备像素化的闪烁材料膜的方法，所述方法包括以下步骤：将掩模版叠加到基板上，所述掩模版中包括多个贯穿该掩模版的开口；通过所述掩模版的开口在所述基板上沉积闪烁材料，从而在所述基板上形成多个分隔开的所述闪烁材料的像素单元。本发明还提供了由该方法制得的包括像素化的闪烁材料膜的组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 像素 闪烁 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种制备像素化的闪烁材料膜的方法，所述方法包括以下步骤：将掩模版叠加到基板上，所述掩模版中包括多个贯穿该掩模版的开口；通过所述掩模版的开口在所述基板上沉积闪烁材料，从而在所述基板上形成多个分隔开的所述闪烁材料的像素单元。
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