[发明专利]一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器

摘要

本发明公开了一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，包括挡板、活动梳齿、弹簧、第一锚区、固定梳齿电极、活动梳齿电极、光纤槽固定框、固定梳齿、应变电阻、应变电极、衬底和第二锚区；光纤槽固定框围成光纤槽，挡板嵌在光纤槽中，挡板的一端固定连接在活动梳齿的一侧；每个第一锚区的顶面设有一个活动梳齿电极，每个应变电阻的顶面设有一个应变电极；弹簧的两侧分别与一个应变电阻连接，且弹簧的中部与活动梳齿固定连接；第二锚区的一侧设有固定梳齿，固定梳齿和活动梳齿交替布置，第二锚区的顶面设有一个固定梳齿电极。该静电驱动可变光衰减器可动态调节活动梳齿的驱动电压，从而稳定挡板的输出位置。

主权项

一种可自动稳定挡板位置的静电驱动可变光衰减器，其特征在于，该静电驱动可变光衰减器包括挡板（1）、活动梳齿（2）、两侧沿纵向弯折的弹簧（3）、两个第一锚区（4）、固定梳齿电极（5）、两个活动梳齿电极（6）、光纤槽固定框（7）、固定梳齿（8）、两个应变电阻（9）、两个应变电极（10）、衬底（11）和第二锚区（12）； 光纤槽固定框（7）、第一锚区（4）、第二锚区（12）和应变电阻（9）分别固定连接在衬底（11）上，且应变电阻（9）和第一锚区（4）之间设有绝缘层；光纤槽固定框（7）围成光纤槽（13），挡板（1）嵌在光纤槽（13）中，挡板（1）的一端固定连接在活动梳齿（2）的一侧；每个第一锚区（4）的顶面设有一个活动梳齿电极（6），每个应变电阻（9）的顶面设有一个应变电极（10）；弹簧（3）的两侧分别与一个应变电阻（9）连接，且弹簧（3）的中部与活动梳齿（2）固定连接；第二锚区（12）的一侧设有固定梳齿（8），固定梳齿（8）和活动梳齿（2）交替布置，第二锚区（12）的顶面设有一个固定梳齿电极（5）。