[发明专利]麦克风及用于校准麦克风的方法有效
| 申请号： | 201210493195.9 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103139674B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 迪尔克·哈默施密特;迈克尔·克罗普菲奇;安德烈亚斯·维斯鲍尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R29/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开了一种麦克风及用于校准麦克风的方法。在一种实施方式中，用于校准麦克风的方法包括基于第一AC偏置电压操作MEMS器件，测量吸合电压，计算第二AC偏置电压或DC偏置电压，以及基于第二AC偏置电压或DC偏置电压操作MEMS器件。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 用于 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于校准麦克风的方法，所述麦克风包括：MEMS器件，所述MEMS器件包括膜、背板、电连接至所述膜的第一端子和电连接至所述背板的第二端子；电连接至所述第一端子的AC偏置电压源；以及电连接至所述第二端子的DC偏置电压源，所述方法包括：增大第一AC偏置电压使得所述MEMS器件的所述背板与所述膜塌陷时，由突变检测电路测量吸合电压；减小所述第一AC偏置电压使得所述MEMS器件的所述背板与所述膜分离时，由所述突变检测电路测量释放电压；基于所述吸合电压或所述释放电压计算第二AC偏置电压或DC偏置电压；以及基于所述第二AC偏置电压或所述DC偏置电压操作所述MEMS器件。
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