[发明专利]麦克风及用于校准麦克风的方法

说明书

本发明公开了一种麦克风及用于校准麦克风的方法。在一种实施方式中，用于校准麦克风的方法包括基于第一AC偏置电压操作MEMS器件，测量吸合电压，计算第二AC偏置电压或DC偏置电压，以及基于第二AC偏置电压或DC偏置电压操作MEMS器件。

技术领域

本发明总体上涉及一种麦克风以及用于校准麦克风的方法。

背景技术

通常，半导体晶片上制造有大量MEMS（微机电系统）器件。

MEMS器件生产中的重大问题是对这些器件的物理和机械参数的控制。例如，诸如机械刚度、电阻、膜片面积、气隙高度等参数可能改变约±20%以上。

有关MEMS器件的一致性和性能的这些参数的变化可能很明显。具体地，参数变化在高容量和复杂度低的低成本MEMS（麦克风）制造工艺中尤为明显。因此，补偿这些参数变化将是很有利的。

发明内容

根据本发明的实施方式，一种用于校准MEMS的方法包括基于第一AC偏置电压操作MEMS，测量该MEMS的吸合电压（pull-in voltage），计算第二AC偏置电压或DC偏置电压，以及基于第二AC偏置电压操作MEMS。

根据本发明的实施方式，一种用于校准MEMS的方法包括增大膜上的第一AC偏置电压，检测第一吸合电压，以及基于第一吸合电压来为膜设定第二AC偏置电压或DC偏置电压。该方法还包括向膜施加第一定义的声音信号，以及测量麦克风的第一灵敏度。

根据本发明的实施方式，一种麦克风包括MEMS器件，其包括膜和背板；AC偏置电压源，其与膜连接；以及DC偏置电压源，其与背板连接。

根据本发明的实施方式，一种装置包括MEMS器件，其用于检测声音信号；偏置电压源，其用于向MEMS器件提供AC偏置电压；以及控制单元，其用于检测吸合电压以及用于设定AC偏置电压或DC偏置电压。

附图说明

为更加全面地理解本发明以及本发明的优势，现结合附图进行以下描述，其中：

图1示出了麦克风的框图；

图2a至图2c示出了功能图；以及

图3示出了校准麦克风的实施方式的流程图。

具体实施方式

以下将详细讨论优选实施方式的制作和使用。然而，应当理解，本发明提供了可在宽泛的各种具体环境下实施的多种可用的发明概念。所讨论的具体实施方式仅是说明制作和使用本发明的具体方式，且并不限定本发明的范围。

将针对具体环境（即，麦克风）下的实施方式来描述本发明。然而，本发明也可被用于其他类型的系统，诸如音频系统、通信系统或传感系统。

在电容式麦克风或电容器麦克风中，膜片或膜以及背板形成了电容器的电极。膜片响应声压水平，并通过改变电容器的电容来产生电信号。

麦克风的电容是施加的偏置电压的函数。在负偏置电压下，麦克风表现出小电容，以及在正偏置电压下，麦克风表现出增大的电容。麦克风的电容作为偏置电压的函数是非线性的。尤其在接近零的距离处，电容量突然增加。

麦克风的灵敏度是对一定声压输入的电输出（声音信号的振幅）。若两个麦克风经受相同的声压水平，且一个比另一个具有更高输出电压（更强信号振幅），则认为具有更高输出电压的麦克风具有较高灵敏度。

麦克风的灵敏度还可受到其他参数（诸如膜片大小和强度、气隙间距以及其他因素）影响。