[发明专利]一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法无效
| 申请号： | 201210487460.2 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN102941004A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 石忠宁;唐卫;王兆文;高炳亮;胡宪伟;徐君莉 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/68 |
| 代理公司： | 沈阳东大专利代理有限公司 21109 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 11081辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，属废气处理领域。本发明按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。本发明实现了处理PFCs的零排放，降低了能耗和处理成本。而且整个处理流程短，过程简单，加上反应条件不是很苛刻，对反应器的要求也不是很高，这样也可以降低设备的费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电解 微电子 工业 产生 氟化 分解 方法 | ||
【主权项】：
一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。
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