[发明专利]一种晶粒分块扫描方法

摘要

本发明公开了一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置;在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；跳转新条状块扫描到上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描。该发明通过将晶片分块，使质量相近晶粒被一同拾取，晶粒拾取比较干净，对空行和空列有较强适应性，不连通的晶粒区域也能扫描到，克服了传统的逐行扫描方式的质量不均和不能跳过空行空列的缺点。

主权项

一种晶粒分块扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内垂直于划分线逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行同侧最后一个晶粒位置，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置，当扫描到条状快顶部或者底部最后一个晶粒时，返回到扫描起始位置的下一行或上一行继续扫描；3）在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；4）跳转到新条状块发现上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描；步骤2）中，通过晶粒间距计算下一晶粒的位置，在一条状块内逐行扫描时，还包括以下步骤：判断该下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片的边界，是则认为该位置没有晶粒，否则记录该晶粒的位置，继续扫描下一晶粒；在判断下一晶粒位置是否超出所述蓝膜晶片的边界的步骤之前，还包括以下步骤：判断扫描行的扫描晶粒数是否小于一条状块内同一行中应分布的晶粒数时，是则直接计算下一晶粒的位置并判断是否超出所述晶片的边界，否则换行计算下一晶粒位置并判断该否超出所述晶片的边界；判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤之前，还进一步包括以下步骤：计算并判断连续设定的行数是否没有晶粒，是则进行下一步骤，否则执行判断扫描行的扫描晶粒数是否小于块扫描晶粒的步骤；判断扫描换行方向是否已经反向，是则扫描方向反向，计算下一晶粒位置；否则切换至下一条状块扫描，并记录当前条状块的扫描起始位置。