[发明专利]双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器有效
| 申请号： | 201210476797.3 | 申请日： | 2012-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN102969645A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;丁金滨;王魁波;王宇;周翊;赵江山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/08;H01S3/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种放电腔的导流装置，所述放电腔具有对称的结构，且包括两对电极，该导流装置包括两个叶轮，该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对，其安装位置关于所述放电腔的对称面对称，且位于所述电极的下方，其转动轴平行于电极的轴向，所述电极的轴向平行于所述放电腔的底平面，并且该两个叶轮的转动方向相反，转速相同。所述电流装置还包括阻流片和导流板，以使放电气流以通过放电区域的方式在放电腔内高速、均匀地循环流动，以保证放电质量，从而提高激光能量及其稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 放电 导流 装置 应用 准分子激光 | ||
【主权项】：
一种放电腔的导流装置，所述放电腔具有对称的结构，且包括两对电极，其特征在于，该导流装置包括两个叶轮，该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对，其安装位置关于所述放电腔的对称面对称，且位于所述电极的下方，其转动轴平行于电极的轴向，所述电极的轴向平行于所述放电腔的底平面，并且该两个叶轮的转动方向相反，转速相同。
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