[发明专利]一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法无效
| 申请号： | 201210441948.1 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103803715A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 周文婷;荆建芬;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C02F5/08 | 分类号： | C02F5/08 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法，采用包含氧化剂的化学溶液将铜/铜阻挡层化学机械抛光废液中产生的凝胶以及铜离子去除。该发明可以避免铜/铜阻挡层化学机械抛光废液堵塞管道及减少铜离子对环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 阻挡 抛光 废液 方法 | ||
【主权项】：
一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法，其特征在于：所述方法包括采用化学溶液处理所述废液，所述化学溶液包含氧化剂。
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