[发明专利]一种具有永磁重力补偿结构的微动台

摘要

一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个永磁单元由永磁体和轭铁组成，永磁体镶嵌在轭铁中，永磁体骨架与微动台定子固定在一起；支承部分由位于固定部分的正下方的导磁板组成，并与微动台动子连接在一起。本发明所述重力补偿结构具有闭合的磁路，减少了重力补偿结构对周围环境的干扰，并且增加了重力补偿结构与磁浮工件台大行程运动台的halbach磁钢阵列的距离，从而减小了halbach磁钢阵列的磁场对微动台动子的重力补偿效果的影响。

主权项

一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子和微动台动子,其特征在于：该微动台还包括永磁重力补偿结构，所述的永磁重力补偿结构由固定部分和支撑部分组成，所述的固定部分包括至少四个永磁单元和一个永磁体骨架（6），所述的至少四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架（6）上；每个永磁单元由一个永磁体（1）和一个轭铁（3）组成，永磁体（1）镶嵌在轭铁（3）中，所述的永磁体（1）的充磁方向沿Z轴方向，下底面为S极，上底面为N极，所述的永磁体骨架（6）与微动台定子（5）固定在一起；所述的支承部分由一块导磁板（2）组成，所述的导磁板（2）位于固定部分的正下方，并与微动台动子（4）连接在一起。